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2025年将引入批量制造HighNA系统 你知道吗？ HighV光刻机有望缩小至埃级别Hing NA EUV光刻机有望将芯片的制造节点缩小至埃级别，为具有更高晶体管数量的芯片以及全新的工具、材料和系 2023-02-14 16:22:08

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