三星自研EUV薄膜 透光率达88%产能提高20倍 你知道吗？ 三星自研EUV薄膜：透光率达88%，产能提升20倍光罩薄膜是极紫外 (EUV) 光刻工艺中的关键部件，指的是在光罩上展开一层薄膜，然后机器在上 2023-02-16 14:35:58